二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9236833 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500
ID: 9236833
晶圆大小: 6"
Oxide etchers, 6" Chamber.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500是一款为半导体产业提供先进蚀刻能力的蚀刻器/asher。它能够通过紫外线辐射进行高质量、精确的蚀刻。TEL TE 7500通常用于为设备制造创建高精度、复杂的曲面。TOKYO ELECTRON TE 7500提供了一个集成的蚀刻器/asher系统,具有多种功能,包括可变的开口阶段设计和较大的工作区,使用户可以同时蚀刻多个模具。可变开口阶段可确保各种金属口罩的精确放置,以及在蚀刻参数上的准确和可重复,而较大的工作区域可提供更多的模具布局多功能性,从而提高生产吞吐量。蚀刻器/asher的设计还融合了多种蚀刻技术,包括高能反应性离子蚀刻和浅反应性离子蚀刻。与传统的湿蚀刻方法相比,这些技术可以减少蚀刻时间,提高产品产量。TE 7500还具有优化的软件和过程自动化功能,可轻松控制和安排蚀刻过程。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500利用真空紫外线脉冲激光器进行精密蚀刻。这种激光产生强烈的紫外线脉冲,被引导到目标模具。与传统激光器相比,真空UV激光器能够更快地蚀刻困难图桉或不规则形状。根据要蚀刻的材料和物镜,可以调整激光脉冲以获得最佳的工艺结果。TEL TE 7500拥有强大的用户界面,并配有安全监视器,用于监控操作人员的环境和安全。其符合人体工程学的设计使用户能够轻松地调整蚀刻器的设置,同时自动端点检测系统在蚀刻过程完成时向用户发出警报。蚀刻器还内置了包含光束功率、脉冲重复率、定焦和光束能量等参数的配方,可以通过一个按钮的触摸来调节。总之,TOKYO ELECTRON TE 7500是一款高科技蚀刻器/asher,设计用于半导体行业各种材料的精密蚀刻。它具有多种多样的特点,如可变开口阶段和多种蚀刻技术,使这种蚀刻器成为为设备制造创建复杂表面的理想工具。其用户友好的界面使蚀刻过程易于操作和控制。
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