二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500M #293600493 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M是为硅、GaAs、AlAs等材料的精密、高效蚀刻和灰化而设计的高端蚀刻器/灰化器设备。该系统基于先进的多步骤技术,在该技术中,要处理的曲面要经过多个顺序蚀刻和/或灰化步骤。其结果是准确、可重复的处理，旨在提供具有最低污染物的最高产量。TEL TE 7500M配备了许多高级功能,使其成为一个功能强大、可靠且易于使用的解决方桉,可满足蚀刻和灰化需求。它的多晶片卡带加载单元和自动传输能力降低了操作员的处理能力，而自动锁定基板支架则确保了基板负载的精确对准和可追踪性。该机还配备了直观、易于导航的图形用户界面，具有完整的设置、监控和控制功能。TOKYO ELECTRON TE 7500 M的蚀刻和灰化能力是最顶尖的。它提供了智能、精密的过程控制系统，以帮助优化生产力和产量，有选择性的力控制湿蚀刻，高通量干蚀刻，和稀有气体灰化。此外，该工具还包括对均匀蚀刻深度的全局几何校正，以及先进的化学和质量平衡监测和调整，以确保准确的工艺结果。TE 7500M的特点是具有化学泵和内置机械泵的真空传输资产,以及可监控和调整化学、工艺和真空参数以确保高产品质量的现场监视器。配置模板、调度模式和在线配方修改等附加功能使TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M满足高级蚀刻和灰化需求的理想设备。总体而言,TEL TE 7500M为需要精确和可靠的蚀刻和灰化任务提供了理想的解决方桉。此模型具有先进的功能、可靠的流程和直观的用户界面,旨在提供卓越的性能和效率,同时最大限度地减少浪费并实现最高的产量。