二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400 #9051322 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400是一款蚀刻器/asher，设计用于精确成型和加工半导体等底物。TEL TE 8400是一种湿蚀刻设备，能够蚀刻模具、二极管和其他数字集成电路。该系统配备了非接触式晶片对晶片处理单元和7面等离子体/化学输送机，用于精确的制图过程。TOKYO ELECTRON TE 8400支持多种工艺，包括蚀刻、光刻、抗剥离和金属沉积。该工具利用电离源气体，如氯或氟，产生精确的等离子体蚀刻到晶圆中。气体与射频（RF）信号结合产生等离子体，可以在晶圆表面上蚀刻或沉积额外的物质。另外，TE 8400使用化工站加强蚀刻功率，减少蚀刻工艺时间。资产配置有高端特性，如氧化物抗反射（AR）涂层、隧道清洁、间隔器旁路、蚀刻选择性优化等。AR涂层降低了晶片表面的反射率，以确保精确的微观图样。隧道清洁通过清除向蚀刻端点发展的不需要的污染物，减少了蚀刻过程的副产品。间隔器旁路消除了对常规硬掩模间隔器的需求，允许用户直接对蚀刻特征进行图样化。最后，蚀刻选择性优化有助于提高工艺的可重复性，降低对工艺变化的敏感性。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400配备了先进的安全功能，包括自诊断、传感器、报警器和安全锁。自诊断功能可监控模型的运行状况和性能,确保机器的最佳运行。传感器监视外部工艺条件,以确保准确的蚀刻工艺。如果检测到任何不安全的情况,警报设备会提醒操作员。最后,安全锁系统确保只有授权人员才能进入设备。总体而言,TEL TE 8400是一款精密的蚀刻器/asher,非常适合要求苛刻的半导体和其他基材产品。该机先进的工程和功能为用户提供了精确和可重复的蚀刻过程，并提高了安全性和安全性。