二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400PE #293772610 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400PE是一种蚀刻器/asher设备,用于在半导体和MEMS制造过程中对窄特征大小和高长宽比进行阵列化。该设备的高度可配置平台及其大面积源允许提高吞吐量和灵活性。TEL TE 8400PE的等离子体处理系统设计有集成的锁载室和原位监控功能,用于处理410 x 510 mm以下的基板。TOKYO ELECTRON TE 8400PE特性包括由4轴机械臂操作的大型基板支架，可实现自动装卸。该装置还具有MDP（Magnetron-Domined-Plasma）型的两个热壁源，能够提供一系列气体溷合物和广泛的工作温度范围。此外,此蚀刻器/Asher具有控制范围为0-2000 W的Electro Asher源,功率密度可调从0.5 W/cm2到20W/cm2,以实现精确的Ashing控制。此蚀刻器/asher还具有用于高长宽比和窄特征大小的并行蚀刻工艺,通过ETCH EMC最多可控制30个通道。多种工艺气体可用于阶梯蚀刻、高选择性蚀刻、HEX蚀刻、Ashing和其他特定蚀刻反应。该机还可用于各种面膜蚀刻、牺牲层去除、微孔钻探等应用。TE 8400PE的电镀工具适用于薄膜和CMP应用。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400PE包括对全方位流程控制选项的支持,包括数据监控和软件流程记录,以确保高度可靠的可重复性。此外，还提供了一种全自动校准和资产跟踪资产，易于使用用户定义的参数进行配置。该型号具有高速数字通信和跨平台兼容性等几个特点，使其具有高度的灵活性和功能性。TEL TE 8400PE 蚀刻器/asher旨在为所有过程步骤提供可靠、可重复和可重复的结果。其直观的控制设备允许快速设置和优化,提供卓越的流程多功能性和可重复性。此蚀刻器/asher能够满足当前所有行业标准,使其成为半导体和MEMS应用的理想工具。