二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 IME #9128551 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 IME是一款高度先进的蚀刻器/asher，设计用于处理多种材料。其先进的设计非常适合最新半导体生产所需的最精确的蚀刻和灰化工艺，同时仍提供制造高质量和可靠产品的手段。该设备配备了一个X-Y级、负载锁和各种Chuck系统，允许广泛的晶片进行加工。负载锁具有高真空环境，与其他标准机器相比，可实现更高的真空水平。另外，该级具有极长的行进距离，允许晶圆的微调以达到尽可能高的工艺精度。TEL TE 8401 IME速度快、效率高，处理时间短，可处理大量晶圆。内置温度控制器可实现最佳环境控制,同时保持精确的温度和压力,从而实现高质量的蚀刻和灰化过程。TOKYO ELECTRON TE 8401 IME针对湿蚀刻和干蚀刻进行了高度优化,提供了一系列可选的蚀刻工具。此外，其先进的晶圆对准系统确保精确的放置和灰度在严格的公差范围内。机器还配备了控制器，实时监控蚀刻和清洗过程。TE 8401 IME的其他功能包括自动基板加载系统,以及用于管理每个晶圆所需过程步骤的配方管理系统。它还为精确测量蚀刻和灰化过程提供了先进的计量和步进重复功能。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 IME的先进设计使它的用户能够创造出具有可靠、精确蚀刻和灰化工艺的高精度和可靠的产品。其统一性和统一性控制确保了产品级别的一致性。该设备同样擅长湿法和干法蚀刻，以及制造先进集成电路所需的其他中间工艺，从而能够快速高效地生产半导体。它的灵活性、生产能力和简单的界面使其适合广泛的应用。