二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293637515 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一种为微电子製造而设计的蚀刻器或asher。该设备利用49个平行等离子源脉冲偏置对先进的微电子结构进行精确蚀刻。它提供高达100 nm的蚀刻精度和高达800晶圆每小时的吞吐量。TEL TE 8401采用水平对齐的串联设计,可根据流程需要高效移动和更换不同的处理模块。它的占地面积很小,但其先进的脉冲等离子体蚀刻技术具有出色的均匀性和准确性,可精确控制蚀刻速率、轮廓和临界尺寸测量。该系统针对铝、铜、低K介电材料等高选择性、低轮廓的纤薄材料的蚀刻进行了优化。TOKYO ELECTRON TE-8401的优化均匀性使得薄介电层能更好地集成在器件中，具有更大的光刻和蚀刻工艺兼容性。TE-8401的其他关键特征包括增加特征密度的高长宽比、改进过程控制的紧密过程窗口以及高度的材料消耗效率。它还通过其远程门户和流程监控功能支持高级流程自动化。TEL TE-8401单元还支持先进的Pulsed Etch Process （PEP）技术，该技术能够处理3 D线平整、更复杂的设计和更薄的介电层，同时保持出色的轮廓和蚀刻速率控制。此外,它的自动配方控制及其逐层精度和准确性有助于减少制造时间和成本。总体而言，TOKYO ELECTRON TE 8401蚀刻机或asher是一种高级机器，设计用于中大规模生产的超精密蚀刻先进微电子结构。其高处理速度、脉冲等离子体蚀刻技术和工艺自动化使其成为制造日益复杂的半导体器件的理想解决方桉。