二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293758823 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一种化学增强的蚀刻设备，利用一系列智能、自动化的工艺在半导体材料中蚀刻复杂的电路几何形状。它具有获得专利的蚀刻工艺技术,可确保准确的蚀刻结果,并且无需手动设计。该系统有一个顶装式真空室，里面装有两个自对准的子电平单元，一个支撑基板，另一个支撑掩模或图桉。自对准夹紧板确保材料在蚀刻过程中保持牢固的粘合状态,并且可以以0.01毫米为增量进行调整,以保持结果的准确性。使用静电销在静电卡盘或其他类似方法固定基板，以便于精确定位。TEL TE 8401有两个蚀刻等离子体源可用，一个410 MHz射频发生器和一个2.45 GHz谐振器，均基于回旋加速器原理。蚀刻单个材料的循环时间是可调节的,允许低温蚀刻用于高分辨率处理或高温蚀刻以提高吞吐量。该装置采用先进的等离子体控制机器，包括板载设计数据库和先进的诊断工具，包括电离比测量和离子通量估计，以确保准确处理。TOKYO ELECTRON TE-8401还具有热性能监测和资产健康监测功能,并带有确保最佳性能的指标和警报。此外，该车型具有防止可燃、易爆和有害气体进入蚀刻室的集成安全特性，以及保持最佳运行温度和压力的温度和压力控制。总体而言,TE-8401是一种可靠、功能强大且精确的蚀刻设备,非常适合为各种应用创建高分辨率的精密电路。它获得专利的蚀刻工艺技术、先进的等离子体控制和安全特性使其成为生产坚固和不断扩展的复杂电路的宝贵工具。