二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9134027 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一款高度先进的用于干蚀刻和晶圆灰化的蚀刻/灰化设备。它采用开创性的封闭式设计,在保证环境安全和降低人工成本的同时提供卓越的加工性能和质量。TEL TE 8401具有高性能蚀刻电源,可确保理想的蚀刻条件,无论基板材料或特征尺寸如何。它也有Real-Time Clustering DiseaseTARGET，一个专有的电脑控制蚀刻操作系统，将流程间的变化降至最低。该单元保持高水平的蚀刻再现性，在每一个基板上提供一致的蚀刻质量。TOKYO ELECTRON中包含的先进的Ashing技术TE-8401提供卓越的无粒子Ashing结果。它还根据需要对底物进行广泛的处理，如热处理、牺牲性拍打和离子束照射。此外，为确保安全运行，TEL TE-8401包括使用闭合工具惰性气体的安全机器，确保不会泄漏有害物质。安全资产的封面装有警报模型，在检测到气体泄漏时触发警报。这样就不会对操作员和环境造成伤害。TE 8401还有一个名为AUTOSET的高级软件包,它允许操作员对任何配方参数进行编程,并根据需要轻松存储和复制这些参数。这大大简化了配方处理，提高了生产率。为了改善设备的整体维护和使用寿命，TOKYO ELECTRON TE 8401包括一个自动清洁功能，以预定的间隔提供易于处理的清洁操作。这进一步确保了机器中加工的每个晶片的完美质量。因此，TE-8401是首屈一指的蚀刻和晶圆灰化系统，可提供卓越的加工性能和质量，同时确保环境安全和降低人工成本。