二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9161274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一种等离子体蚀刻方法，用于微电子制造中的多个半导体程序。该蚀刻器是一种先进的工具，设计用于精密干蚀刻，具有挑战性的应用复合材料。其自动化的控制界面和易于使用的过程控制设备能够实现可靠的蚀刻过程。TEL TE 8401独特的自调电源技术，使其能够以更高的吞吐量和优异的重复性提供精确的高速蚀刻。该蚀刻器配备了先进的高速负载锁，以保持有效的过程控制，从而确保最小的磨损。高速运输晶片操纵装置也是为了在负载锁和製程室之间快速而平滑的晶片移动而设计的。TOKYO ELECTRON TE-8401的先进等离子体源可以独立控制蚀刻深度、轮廓、材料去除速率和特征细节,以防止过度蚀刻。它具有广泛的蚀刻能力，可以蚀刻各种介电和多晶硅材料、铜层或绝缘体，用于广泛的半导体器件。这种高性能的工具可以提供非常干净的蚀刻表面和超高分辨率的设计,并以最小的速度和最小的工艺副产品。TOKYO ELECTRON TE 8401包括一个集成的控制系统和通信协议来管理多达16个单独的蚀刻过程。它具有多轮廓蚀刻功能,深度和时间蚀刻均可在可用的最高精度和无需手动干预的情况下进行。它还具有嵌入式诊断单元,可确保一致的蚀刻性能并监控任何潜在的硬件故障,从而最大程度地减少停机时间。TEL TE-8401蚀刻器具有多项安全功能，包括压力互锁以防止操作过程中压力积聚，以及惰性气流监测器以确保腔室至少有轻微加压以快速阻挡任何与过程相关的污染。蚀刻机的控制机也确保在适当的冷却资产到位并准备就绪之前，刀具不会启动。