二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9292597 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一款先进的化学蚀刻器/asher，为各种材料提供精确的沉积和蚀刻，包括陶瓷和金属。设计用于先进材料加工，如薄膜沉积、结晶、掺杂等。该设备采用低压真空沉积方法，使亚微米沉积厚度具有高长宽比特征。该系统依靠自己独立的PLC和专用的工艺计算机运行，允许利用先进的技术、工艺和配方。该装置的电极偏置控制提供了可用的最高分辨率蚀刻，其三区具有精确的浓度控制保证高精度蚀刻和沉积。使用单一晶圆方法可以实现精确的均匀性和灵活性,以满足最苛刻的生产要求。低压过程还可以确保底层晶片不会损坏。其自动测量单元可快速精确地测量基板轮廓。该机器具有用户友好的界面以及各种各样的配方和程序，使用户能够完全控制整个蚀刻和沉积过程。这些程序定期更新，以确保该工具能够跟上材料科学的最新进展。它还能够储存几种食谱，以便根据需要加以利用。利用GEM80,将TEL TE 8401与GEM80相结合,实现了无与伦比的材料蚀刻和沉积控制.其特点是配方经过优化以产生小特性，如金属化线和ITO/LCL薄膜元件。GEM80还支持保形涂层工艺，使微薄层的聚合物或金属从几埃沉积到几微米的厚度。通用的TOKYO ELECTRON TE-8401 蚀刻器/asher是一种强大的工具，能够对各种材料进行精确的沉积和蚀刻。其先进的特性和用户友好的界面使其成为先进材料加工的理想选择。