二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9398263 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一款为精密蚀刻和ashing应用而设计的蚀刻器/asher。它是一个带有加热基座的批量等离子体蚀刻器/灰光器，可以在低热预算的情况下蚀刻和粉刷精细特征。它具有较高的偏置功率水平，以精确控制蚀刻和灰化速率，高均匀性和宽蚀刻和灰化窗口。TEL TE 8401有四种操作模式：蚀刻、灰化、溅射和清洗。配备干式、四滤波器设备，包括蚀刻室、反应室、冷却室、净化室四种过滤器。在蚀刻模式下,TOKYO ELECTRON TE-8401可用于细微特征的蚀刻,最大功率为600 W。具有先进的蚀刻/灰化窗口、宽大的腔室温度范围和高均匀性,TE-8401可用于细小特征的高分辨率蚀刻/灰化,提高性能。它允许在晶片表面上形成等距特征，并具有均匀的蚀刻/灰化特性。TOKYO ELECTRON TE 8401还有一个主动控制系统，用于控制阶段温度和压力的均匀等离子体参数。在ashing模式下,TE 8401用于使用高偏置功率级别来移除不希望的层。它具有很高的可重复性和最小的热预算，非常适合去除聚合物和金属薄膜。TEL TE-8401的有源气体管理单元通过其高偏置功率控制，在不降低介电蚀刻选择性的情况下，保持了低蚀刻压力和高灰化率的腔室压力。此外,TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401的高级操作模式允许更大的通量和改进的温度均匀性。在溅射模式下，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401能以其高沉积能力提供优异的沉积速率。具有较高的偏置功率水平和优异的均匀性，可用于薄膜沉积和溅射清洗。该装置还配备了常规的空腔式溅射室，用于特定于应用的溅射能力。最后,TEL TE 8401的内置清洁模式允许以最低的热预算实施来清除残留物。这减少了污染的机会，提高了各种应用的蚀刻表面的均匀性。总体而言，TOKYO ELECTRON TE-8401是一种先进的蚀刻器/asher，设计用于优化蚀刻和精细特征的灰化。它具有高偏置功率水平、高均匀性、宽蚀刻/灰化窗口、有源气体管理机器和四种操作模式。这种高性能设备是用于精密蚀刻/灰化应用的非常宝贵的生产工具。