二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9412380 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401是一种在半导体製造过程中使用的蚀刻机/asher机。它是一种高精度的工具，设计用来蚀刻和传送从光刻相到沉积相的图样晶片。TEL TE 8401具有多项令人印象深刻的功能,包括用于精确蚀刻深度控制的精密干涉测量和用于基板定位精度的集成对准传感器。该机还有一个大腔室，用于大面积基板的均匀蚀刻。此外，TOKYO ELECTRON TE-8401有一个干净的干蚀室，可以减少颗粒，从而提高工艺控制和提高产量的可靠性。而且，TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401用途广泛，可用于HF、HF/CXF、FOSR、ICP蚀刻等多种工艺化学。它还支持各种不同的基板尺寸,最大为4英寸,并使用高级控制平台进行精确的过程监控。除了精密的蚀刻能力外，TEL TE-8401还配备了无震传递元件和定制的多点传递机构，以尽量减少对基板表面的伤害。这通过确保基材免受污染和应力的保护，进一步提高了产量。TE-8401是一种非常可靠和精确的蚀刻和灰化工具，专门为半导体制造过程而设计。其优良的控制平台和无震转移机制使得产量可能达到最高。它是任何半导体设施的绝佳补充，其种类繁多的工艺和基材尺寸使其更加通用可靠。