二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9016196 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC是一种最先进的蚀刻器/asher设备，用于在多种基材上进行高精度图样化。它结合了真空沉积系统、基板加热、增量线宽控制等先进功能，提供卓越的蚀刻和灰化性能。该单元的设计可容纳高达314毫米的基板，可容纳高达256毫米宽的图纸。真空沉积机是一种高效的过程，多层材料根据其需要沉积在基板上。这是使用高压直流源和灯丝端子来完成的，该端子加热目标材料，使材料蒸发或溅射到基板上。然后由电子束辅助的压力梯度在底物温度下熔化或汽化源材料。这确保了多层在基板上的精确、均匀和可重复的沉积。TEL TE 8500 ATC具有高级自动步进控制（ASTC）工具,可精确控制整个样品的线宽和层厚度。该资产的工作原理是不断监测蚀刻速率和调整蚀刻深度，以保持基板上所有图桉层的均匀厚度。使用此模型,可以一致地实现小至50 nm的线宽。ASTC设备还允许在蚀刻工艺和灰烬工艺之间快速切换，而无需人工干预。此外，TE 8500还配备了光发射光谱（OES）系统，该系统使用激光产生散射在基板表面的光束。然后，这种散射光通过光学滤光片发送，并进行测量，以确定加工层的蚀刻或灰度深度。此过程允许对阵列宽度进行微调控制。TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC单元适合印刷电路板、显示器、纳米电子、半导体制造等多种行业。它将高精度的图样设计、简单的操作和自动控制功能相结合,使其成为任何需要精确蚀刻或灰度处理的应用程序的绝佳选择。该机器提供垂直或水平安装选项,可提高灵活性和在各种过程中的集成。