二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9148201 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC是一款蚀刻器/asher，采用最新的业界领先技术设计，提供先进的处理性能。该机配备单一基座，使其每小时可处理多达8500个晶圆，同时满足先进设备处理所需的紧密表面和边缘轮廓规格。此外,该设备可以配置为湿法或干法蚀刻。其先进的原位传感器设计能准确检测和优化蚀刻和灰化过程，以最大限度地提高蚀刻/灰化性能，并最大限度地减少粒子生成。该系统还配备了先进的清洁功能，有助于保证蚀刻和灰化工艺的质量。该机还设有层厚度监视器，可以检测晶片蚀刻或灰化后残留的水平，防止意外过度蚀刻或灰化。通过不断监控蚀刻或灰化过程的持续时间和质量，它可以保持一致的蚀刻/灰化速度，为用户提供可靠且可重复的蚀刻/灰化功能。TEL TE 8500 ATC是为方便操作而设计的全自动单元。可以将其编程为对特定应用程序和材料执行蚀刻或灰化,并自动存储数据以进行过程和性能分析以获得更快、更准确的结果。该机还具有高吞吐量连接选项，方便与其他TE系统连接，实现半导体生产自动化。总体而言，TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC提供高级蚀刻/灰化性能，具有高度可重复和可靠的结果。