二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC #9266608 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC是一款高级蚀刻器/asher,专为最高精度的蚀刻和灰化工艺而设计。设备设计用于各种应用和行业,从实验室到制造。TEL TE 8500 ESC利用不同的工艺室创建精确的蚀刻和灰化功能。不同的过程腔被分成分开的过程腔和排气腔,由等离子体屏蔽隔开。这种布置在蚀刻和灰化过程中提供了卓越的清洁、高速和均匀性。TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC提供了一系列功能,旨在提供高度精确的蚀刻和灰化工艺。该系统能够直接和间接晶圆传输,以确保最大产量.还集成了实时错误识别单元,以防止晶圆或机器本身受到物理损坏。该工具还能够支持一系列蚀刻和灰化过程,如电离物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、真空紫外线(VUV)和电阻灰化。这些过程提供了一系列精确的选项,并且可以根据用户的特定要求进行调整。TE 8500 ESC还可以针对特定的应用程序进行定制,并可以通过附加功能进行升级,例如板载冷却系统,以提高精度。此外,该资产易于使用,需要最少的维护,非常适合繁忙的实验室和工业环境。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC是一款高级蚀刻器/asher,提供卓越的精度和性能。该模型支持一系列蚀刻和灰化过程,提供直接和间接晶圆传输,并且可以根据特定应用程序的要求进行定制。此外,该设备易于使用,需要最少的维护,使其适合繁忙的实验室和工业环境。
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