二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #293642894 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC是一种蚀刻器/Asher，设计用于从基板上去除材料，如半导体晶片或平板显示器，使用等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻或物理溅射的方式，并带上氙气、氧气、氮气或其他等离子体气体。它是为高吞吐量而设计的，能够同时加工多达四个直径300 mm的基板。TEL TE 8500 PATC提供了广泛的特性和功能,包括精密蚀刻和灰化、过程控制和自动化、简化配方和数据管理以及低温处理。设备结合了高端电源、等离子体发电机、射频电源，保证了高性能、可重现、可靠的蚀刻效果。该系统还提供了10 mTorr的低基压和5 mTorr至250 mTorr范围内处理压力的快速泵送循环的高真空环境。具有离子束成像传感器（IBIS）的高分辨率光学成像单元设计为对蚀刻过程提供连续反馈，以确保均匀蚀刻。此外，它还提供了高度自动化的自动晶片/基板装卸以及ETCH Index Control（EIC），它允许机器与其他蚀刻系统并行操作，同时提供所有参数的访问和控制。TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC占地面积不大，设计上易于融入工厂。该工具的内置废气资产提供高效的能源消耗，防止回流，并符合不同国家的安全法规。它还提供了用户友好的界面，以及易于跟踪的操作指南，使用户能够快速设置和使用模型。而且，设备提供了广泛的食谱，可以进行定制和保存，使用户可以毫不费力地重复一个过程，并最大限度地减少设置时间。综上所述,TE 8500 PATC是为晶圆/基板加工而设计的高性能、经济高效且易于使用的蚀刻器/asher。它的自动化过程控制、低温能力和易于集成,使其成为各种蚀刻和灰化应用的理想系统。