二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #73160 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC是一种蚀刻器/asher机器，设计用于现场生成诸如砷化铝（AlGaAs）等复合半导体材料。这台机器具有高性能的TEL 8500 蚀刻/asching工艺，用于创建定制的半导体器件。TEL TE 8500 PATC由一个容纳TOKYO ELECTRON 8500 蚀刻/asching工艺的基础单元和几个半导体预处理元件组成。基础单元固有包含真空室、机械级、传感器控制和数据采集系统。碱基单元还连接到几个外部预处理组件，如真空泵、转移棒和TEL/TOKYO ELECTRON 8500蚀刻/灰化工具本身。TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC的真空室部分允许使用二次蚀刻/灰分气体的耐泄漏蚀刻/烧蚀工艺。这种双气体工艺使底物暴露于反应性气体气氛中，使底物的排出气体最小化，从而导致可重复的蚀刻/灰化过程，并产生一般无缺陷的底物。TE 8500 PATC中包含的机械级允许从基板表面精确去除不需要的材料。该级与几个计算机控制的执行器和传感器相结合，从而实现精确的自动处理和蚀刻/灰化。此外，在蚀刻/灰化过程中，机械级的位置可以很容易地监测和调整，以确保准确性和效率。利用TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC系统的传感器控制设备，通过向工艺控制器提供反馈来监测和重新建立蚀刻/灰化工艺的精度。此反馈可用于识别可能存在的任何异常情况,例如蚀刻/灰化均匀性降低或蚀刻/灰化速度波动。此单元还有助于最大限度地减少由于任何不可预见的条件而导致蚀刻/灰化故障的可能性。利用TEL TE 8500 PATC的数据采集机记录和显示所有蚀刻/灰化过程的各种工艺参数，如基板温度、气流和压力等。此数据被存储起来,可用于分析蚀刻/灰化过程和调整参数,以优化蚀刻/灰化过程的质量。总体而言，TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC是一种极为先进的现场蚀刻/灰化工具，用于定制生成复合半导体。通过结合真空室、机械级、传感器控制资产和数据采集模型，本机提供了高效的蚀刻/灰化过程，同时保持了安全的工作环境和蚀刻/灰化的准确性。