二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148198 待售

TEL TE 8500 （S） ATC是一款在半导体制造中使用的高度先进的蚀刻器/asher。它是一种新一代、高通量、高性能的蚀刻器/蚀刻器,旨在处理各种应用程序的过程。该设备采用中性粒子半导体加工模块（NPS）和高电子多陷阱（MET）子系统的组合，实现了低蚀刻速率、均匀性和优越的蚀刻特性质量。核动力源单元由一个旋转光发射单元（OEC）和一个质量分析仪组成，它们捕获和分析加工气体中的颗粒以进行蚀刻或灰化。这台机器能够处理不同的气体，从而对蚀刻和灰化过程进行精确的控制和调节。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC还包括一种具有高速率精度的基于磁场的蚀刻止动机构，使该工具能够确定性地以可靠的方式运行。该工艺室可在低反应性处理气体的情况下高效工作，从而更好地控制蚀刻速率和均匀性。该资产还支持非常大的基板，使其成为大规模生产过程的理想选择。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC也支援广泛的底物温度，从真空到高温，使其适合多种工艺。该型号配备了多种铃声，包括用户友好的GUI、预编程的最先进的工具序列、错误处理、高级配方管理和软件调试功能。它还配备了一个功能强大的控制平台,具有大型数字化显示面板和可定制的流程数据库,旨在满足特定于客户的需求和流程。此外,TEL TE 8500 （S） ATC的设计考虑到了性能可靠性和可维护性,并附带了多种选项,如多室、可编程气体和腔室温度以及离线配方管理。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC是为半导体製造业而设计的稳健且先进的蚀刻器/asher。它采用模块化设计,高通量和增强的特性一致性允许更高效的生产过程周期。该设备非常可靠且可定制,非常适合各种应用,是希望提高生产能力的半导体公司的绝佳选择。