二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148200 待售

TEL TE 8500 （S） ATC是为生产微机电系统（MEMS）和其他小型敏感元件而设计的先进蚀刻设备。它是等离子体蚀刻室的行业标准，以精度和吞吐量着称。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC是一个多室系统，有一个包含最多四个子室的过程室。它包含许多高级功能,可实现严格的过程控制和可重复性,同时最大程度地减少组件损坏。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC包括一个带有真空密封气体箱的气体分配单元,通过回填和溷合机器内的气体以及外部的气体供应来确保气体的稳定性。这有助于确保可重复的薄膜特性和蚀刻速率。蚀刻过程通常通过施加电场来产生等离子体，并将等离子体引向元件表面来工作。TEL TE 8500 （S） ATC还包含一个带有传感器的上部卡盘,可进行精确的温度和压力控制,从而提供可靠且可重复的蚀刻结果。上卡盘的设计是为了确保整个元件的温度均匀,并且随着时间的推移平整度保持在底物的公差1-3微米和双面晶片的公差4-10微米。上部卡盘内的晶圆级清洁工具也有助于最小化颗粒堆积以及特征选择性材料。此外，TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC有一个自对准装载机，可以在腔室和装载锁之间进行有效的晶圆转移。这样可以防止对基板的伤害或污染。为了增加安全性，资产配备了众多内置安全功能，可在必要时自动关闭流程。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATC是一款最先进的蚀刻器/asher，旨在满足半导体制造商最苛刻的要求。该腔室能够提供精确、可重复的蚀刻结果,且组件损坏最小。该模型还确保用户的生产效率和安全。高级功能和安全功能的结合使TEL TE 8500 （S） ATC成为大批量生产的理想选择。