二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9293867 待售

TEL TE 8500 （S） ATC蚀刻器是一种用于模式传递和模式定义的微加工设备。TE 8500系列是为各种半导体技术应用而设计的最先进的仪器。该系统在超低温和精细的特征切割功能下运行,从而降低了拥有成本。它的氧化和平面化功能使客户能够更准确和可靠地定义微尺度和纳米尺度特征。TE 8500蚀刻器具有高级自动调节控制器（ATC）,可自动优化蚀刻和材料去除参数。它还提供了一系列操作模式，如化学调制工艺，可用于细化表面粗糙度。TE 8500控制软件采用图形用户界面和集成诊断程序设计,以简化设备的调整和操作。该机器产生时间和能量历史的蚀刻和平面化晶片表面。TE 8500精密负载锁为正在加工的晶片提供了一个干净、无污染的环境，并提供了晶片边缘和晶片加工室之间的平稳传输。TE 8500蚀刻器独特的安全特性是其内置的离子源清洗功能。这有助于确保蚀刻化学品和沉积线安全，不受颗粒污染，从而实现更好、更可靠的蚀刻工艺。TE 8500有1.2M、2 M和3 M平台。所有平台均采用集成的Cognex视觉系统进行自动晶圆检测和对准。2 M和3 M平台还具有测量关键尺寸的功能。总体而言，TE 8500 （S） ATC蚀刻器是微加工和半导体技术的理想选择。它体积小巧、拥有成本低、功能先进,是希望优化生产流程的客户的绝佳选择。