二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293608638 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一种蚀刻器/asher设备,设计用于去除各种基板上的材料,包括金属、多晶硅和多金属表面结构。该系统利用坚固的物理气相沉积(PVD)源和全面的工艺控制参数选择,能够在广泛的应用中提供精确、可重复的结果。TEL TE 8500具有简化的腔室设计,具有独立控制的源和基板位置以及方便的辅助模块访问。广泛的工艺等离子体源提供了创建高度分析性蚀刻所需的灵活性,包括干法和湿法化学的备选方桉。该装置先进的温控机允许进行温控蚀刻工艺,以提高设备性能和提高生产吞吐量。TOKYO ELECTRON TE 8500是蚀刻复杂布局的理想工具,为生产应用提供了出色的工艺控制和可重复的结果。这种蚀刻器/asher资产是研发领域各种基材精密蚀刻的绝佳选择。
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