二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293608639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先进的工业应用蚀刻器/asher。它是一款提供卓越蚀刻性能的高端开环设备（OLS），用于创建多级介面、栅极结构、电容器和其他关键组件。作为一个OLS，它以实时蚀刻监控和自动工艺优化的精密工艺控制，自主维护稳定的蚀刻条件。TEL TE 8500利用气动主动快门系统隔离源等离子体和操作环境。它能有效地减少交叉污染，提高蚀刻选择性和可重复性。其先进的高频（HF）源等离子体发生器提供卓越的可控性和灵活性，允许微调调整和小特性和/或MEMS组件的均匀蚀刻。TOKYO ELECTRON TE 8500还提供了具有多气体引入功能的可扩展工艺室,使等离子体蚀刻具有 、 、Ar、 、 、He、 、 等多种用途。它使用自动配方控制单元运行,无需用户干预即可实现可重复、可靠和安全的蚀刻,以及允许即时进行更改的实时编辑机。在安全性方面，TE 8500符合相关国际标准，并拥有高真空截止、热关机、过流保护等内置保护机制。它还配备了一系列附件和可选的装载机/卸载机工具，提供了更大的便利和用户关怀。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是各行业精密蚀刻精细图桉和MEMS元件的理想选择,与当今市场上的其他蚀刻器和分量相比,具有更高的准确性、重复性和灵活性。