二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293634691 待售

TEL Limited （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款Etcher/Asher设备，专为半导体和平板工业中的先进等离子体蚀刻和沉积工艺而设计。开发该系统是为了降低工艺开发和制造成本，同时实现比传统系统更高的吞吐量和更高的精度。TEL TE 8500可以一次处理多种底物，结合高达25个位置的高密度等离子体源，并优化用于进行精密蚀刻和掺杂操作。该装置配备了先进的温度控制和工艺可视化技术，用于监测和优化加工条件，以提高效率和工艺一致性。它还能够容纳各种各样的晶圆直径、基材尺寸和工艺配方。TOKYO ELECTRON TE 8500利用专有的浮动卡盘技术,避免局部热应力,确保在连续运行过程中的最佳温度控制和准确性。它能够管理多个无间隙对齐的工艺室，以确保均匀的工艺放电分布。机器还可以从蚀刻器/asher腔室中的每个卡盘进行温度测量，延迟仅为1毫秒，温度稳定性高于1°C。这种高精度温度控制对于确保半导体制造过程中更高的屈服率和更长的晶圆寿命至关重要。TE 8500还采用了一些先进的等离子体控制和过程监测工具，以确保高度可靠和可重复的蚀刻和沉积过程。它利用光谱分析提供等离子体的实时表征，允许等离子体参数只需点击几下即可调整，并在配方编辑器中提供视觉过程监控，跟踪和分析过程进展。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500能够对蚀刻和掺杂过程进行高分辨率记录，并允许用户轻松修改工艺配方以优化性能。此外,该工具的用户友好界面和远程控制功能使流程工程师、底物测试人员和流程操作员之间能够高效协作,从而促进流程开发和改进。总体而言，TEL TE 8500是一种先进的蚀刻器和asher资产，它结合了高效的过程控制、可靠的性能和用户友好的功能，以实现高精度的蚀刻和掺杂操作。其强大的设计和高精度的工艺控制能力使其成为半导体和平板生产工艺的理想选择。