二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293657837 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一种主要用于电子器件制造的蚀刻器/asher。它是一种高度先进、多功能的设备，结合了蚀刻、ashing、干蚀刻、光致抗蚀剂去除等高度专业化的任务。系统由各种组件组成,这些组件将蚀刻器的不同功能集成到单个设备中。TEL TE 8500中最重要的组件是气流控制器、RF电源模块和远程接口。这些组件协同工作，提供可靠的蚀刻和清洗过程。气流控制器用于控制各种气体进入腔室的流量。射频电源用于提供用于等离子体形成的电源。此外,远程接口还可用于监视和调整蚀刻过程的参数。TOKYO ELECTRON TE 8500还拥有一个自动气体调节装置，确保了一致和可靠的蚀刻过程。这可以用来控制惰性气体的流动，例如，用来製造稳定等离子体的氙气、氦气或k气。此外,还可以对机器进行编程,以自动控制射频功率和气体流量。TE 8500的另一个重要特点是其开环过程控制。这使得工具可以在等和灰化过程中动态调整气流和其他参数，从而实现精确可靠的蚀刻和灰化。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500还利用了先进的诊断和温度控制系统。它可以自动检测和防止资产过热,提供一致和可靠的过程结果。该机也具有很高的兼容性，可与单晶片工具、批处理设备、台式系统等多种晶圆处理设备集成。这使得它成为广泛行业以及学术和研究环境的理想选择。总体而言,TEL TE 8500是一款精密的蚀刻器/asher,可提供可靠、精确且可重复的蚀刻和蚀刻性能。它可用于多种应用，其高级功能提供稳定一致的蚀刻过程。