二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758438 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是专门为高级蚀刻应用而设计的蚀刻器/asher。该蚀刻器是一个紧凑的单元，具有高通量的大晶圆生产。它由一个真空室组成，可以容纳各种晶片，直径可达六英寸。该腔室包含先进的气体输送和蚀刻设备，该设备经过优化，以实现高生产率和卓越的蚀刻性能。先进的真空系统以0.01-10-4 mbar的可行压力范围保证了卓越的真空性能，可注入气体从环境空气变为SF6等加工化学品。TEL TE 8500具有可靠而坚固的设计,可确保蚀刻各种基材时的高性能和可重复性。该蚀刻器中存在的高功率沉积单元可确保蚀刻过程的质量长期保持。该机还配备了自动清洗工具，有助于保持蚀刻资产的维护和清洁。蚀刻器有一个内置的自我诊断模型，可以检测任何异常并告知操作员任何需要进行的必要调整。此外，该蚀刻器能够自动控制压力、温度和注入腔室的气体量，以便优化蚀刻结果。该设备也具有很高的可靠性，并具有激光集成能力，可实现高效和受控的蚀刻工艺。系统控制器还确保了易于使用的接口，使操作员能够轻松控制蚀刻过程并实时监控。此外,Etcher还具有数据记录单元,以便存储进程数据以供将来参考。总体而言，TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先进的蚀刻器，能够为大型晶圆生产提供高通量和出色的工艺控制。其可靠的设计、先进的气体输送机、内置的自诊断工具和激光集成能力，确保了蚀刻过程的安全高效。该资产还具有数据记录模型,允许准确的过程控制和数据存储以供将来参考。