二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758440 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一个先进的蚀刻/asher系统,旨在提供电子和半导体领域的精确和精确的薄膜加工过程。这种蚀刻器可用于将薄膜层沉积在多种基板上,这些基板包括硅、砷、玻璃和蓝宝石。这款蚀刻器/asher采用超高真空技术,以确保蚀刻工艺干净、无污染物。TEL TE 8500具有500 mm的大腔室直径和18 "x 18"的最大基板尺寸。平均温度稳定度± 0.2°C,工作温度范围为10°C至600°C。该蚀刻器的一个独特特点是能够以不同的射频功率处理多层,使其成为需要多层薄膜沉积的先进半导体器件的理想选择。TOKYO ELECTRON TE 8500为安全操作而设计,配备了先进的安全功能,如检测到任何不规则性时自动关机,以及防止腔室超压的双气线安全阀。此外,该蚀刻器还配备了一个集成的温度控制系统和一个静态防反冲运动平台,以确保在蚀刻过程中的准确性和可重复性。此蚀刻器/asher具有多种功能,可根据任何应用程序的需要量身定制,从纤维层到厚膜工艺不等。程序可以按步骤或连续模式运行,蚀刻器还具有快速更改功能,可以快速更改材料。TE 8500可以加工多种底物材料,并使用氧气、氮气、氙气、氢气、氟气和氯气等多种气体,使其具有广泛的蚀刻能力。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款用于电子和半导体领域的优秀蚀刻器/asher。其大的腔室尺寸和温度稳定性加上其多功能性,使其适合广泛的应用,从纤薄层到厚膜加工。其先进的安全特性和集成的温度控制系统使得它成为一个可靠和有效的蚀刻器/灰烬对于最苛刻的过程。
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