二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758442 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 from TEL是一款最先进的蚀刻器/asher工具。它是一种高度自动化的设备，设计用于生产各种高精度的工艺，甚至在晶圆表面上也是如此。这使得它非常适合先进的光子学和MEMS制造。TEL TE 8500利用一个完全集成的环境来开发四种增强的基板粘附,因此改进了迭加可重复性和多步处理。这款蚀刻器/asher还集成了先进的负载锁定系统，能够处理各种晶圆尺寸，从标准应用到大规模应用。TOKYO ELECTRON TE 8500融合了Stealth-Technology等技术，提供了低调的机器人和最小化的底物载荷错误率。它还集成了高低温晶圆转移和超精密温度控制，以实现可靠的蚀刻。该工具能够将高精度的脉冲蚀刻时间管理到高达十个了。该工具提供基于密度反馈控制的连续蚀刻改进周期。TE 8500提供超精确的连续腔室清洁性能，配备惯性模块，还提供洗涤器和德加特性。它具有为各种应用识别晶圆图的三维能力，以及冗余晶圆位置检测和处理单元。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500通过使用专有的气体提取机和一系列允许配方编辑和执行的用户界面,提供了出色的重复性和稳定性。配备特定的集成硬件和离子束技术，TEL TE 8500还提供了宽广的工艺窗口和纳米级的高精度分辨率。这种专门的蚀刻器/asher工具是生产与半导体制造相关的各种复杂工艺的绝佳选择。它非常精确,可为各种制造应用程序提供可重复性和稳定性,并且能够处理标准和大型项目。TOKYO ELECTRON TE 8500对高精度自动化技术的运用使其成为最苛刻应用的绝佳选择。