二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758444 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款设计用于电子器件制造和AIXTRON生产的高性能蚀刻器/asher。TEL TE 8500利用化学气相沉积（CVD）工艺对基板进行蚀刻/灰化，创造出坚固可靠的特点，具有卓越的精度和可重复性。该模型具有高效的热传递系统,可同时选择空气和氮气冷却以减少加工时间,以及为最大吞吐量和高效样品处理而设计的基板支架。TOKYO ELECTRON TE 8500配备了自动化的基板处理系统以及多种温度和流量传感器，允许用户在提供卓越温度和气体控制的同时定制其蚀刻/灰化工艺。此外,TE 8500可通过其板载计算机系统轻松配置,以高效监控和控制流程。集成在TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500中的是一个可编程逻辑控制器（PLC），它提供了最高水平的精度和控制。此PLC用于与包括基板支架、工艺室和腔室组件在内的各种组件进行接口,允许用户根据自己的确切需求自定义其蚀刻/灰化过程。这还可以实现自动基板旋转和腔室温度控制等功能,从而最大程度地控制蚀刻/灰化过程。TEL TE 8500具有直观的触摸屏界面,可提供用户友好的体验。该界面允许用户快速选择流程配方,以易于阅读的格式查看运行时统计信息,以及访问详细的流程数据以供查看。此外,该型号还配备了自动腔室清洗功能,可在整个蚀刻/灰化过程中提供一致的性能。综上所述，TOKYO ELECTRON TE 8500是一款功能强大、灵活的蚀刻器/asher，设计用于电子器件制造和AIXTRON生产。该型号提供卓越的可重复性和准确性,改进的热传递系统,可定制的基板处理,以及直观的触摸屏界面,可轻松选择和监控工艺配方。通过基于PLC的控制,TE 8500提供了对蚀刻/灰化过程的最大精度和控制。