二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293764225 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款精密的蚀刻器/asher，设计用于半导体及相关行业的精密蚀刻、沉积和掺杂工艺。该设备是建立在一个强大的DE平台-定向能源-提供可靠和可重复的过程结果。它提供了高度的设备稳定性、过程控制和产量。TEL TE 8500专为提高效率和灵活性而设计。它的多工具设计允许在众多配置中实现高吞吐量和极高的准确性。其多检流计设计提供了改进的光束偏转精度,这对于精密蚀刻或灰化应用至关重要。先进的自动基板定位系统可以精确地接触到最复杂的设备轮廓。TOKYO ELECTRON TE 8500配备了实时流程监控单元，可帮助检测和准确诊断流程缺陷，从而消除缺陷并提高产量。其启用Web的软件计算机可随时随地访问关键流程信息。TE 8500专为广泛的应用而设计。例如，它可以用于MEMS、半导体、光电和纳米技术结构的蚀刻或灰化。也可用于蚀刻TSV（通过硅vias）结构或灰化3D结构。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500提供跨应用程序的可靠性和重复性。其先进的过程控制算法、严格的过程参数和快速倾斜有助于保持过程一致性并提供可靠的结果。快速的湿前和湿后能力有助于提高工艺稳定性。TEL TE 8500使用方便，可快速设置操作。其直观的触摸屏用户界面易于理解和使用。强大的流程向导可轻松设置、自定义和优化流程。该工具还提供多种安全功能以确保操作员的安全，如电子联锁、紧急停止按钮等。综上所述,TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先进、用户友好的蚀刻器/asher,专为在众多应用程序中实现高吞吐量和精确的工艺结果而设计。它的高级流程控制和监视功能有助于确保可靠和可重复的流程,直观的用户界面有助于确保易用性。