二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293811575 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款高精度、功能齐全的蚀刻器/asher，设计用于快速准确地蚀刻和灰分基材。这台机器具有令人印象深刻的一系列功能,包括集成的静电卡盘支持、先进的过程控制功能、高精度的等离子体源以及可靠的蚀刻/灰化过程。TEL TE 8500静电卡盘（ESC）提供精确、可调、精确的真空保持，在加工过程中固定基板。Esc也是mmHg-air-prove，以确保基板清洁，且ESC与基板材料的相容性是精确设置的。此外，ESC可以用盖子盖住，以保持清洁，减少空气和排放的任何干扰。TOKYO ELECTRON TE 8500先进的工艺控制能力使机器能够精确调节蚀刻和灰烬设置,从而优化所有类型材料的性能。通过使用基于软件的高级控制系统和参数,此蚀刻器/asher可以轻松快速地调整设置以获得最佳蚀刻/灰分结果。所包括的流程控制系统还监测和记录所有流程，使操作员能够在需要时快速访问数据。TE 8500还包括一个高精度的等离子体源，以实现精确的蚀刻和灰分设置和结果。与集成磁性线圈结合使用，等离子体源允许对等离子体的电离以及如何用于实现蚀刻和灰烬设置进行非常精确的控制。此外，限制性关闭可以防止意外反应，同时保持等离子体场形状。最后,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500提供了可靠的蚀刻/灰化工艺,具有高效、高精度的结果。内置电气控制系统为蚀刻和灰烬操作提供了可重复的性能,等离子体场的卓越均匀性有助于确保蚀刻/灰烬精度。TEL TE 8500还对许多类型的难以蚀刻和难以灰分的材料采用特殊的蚀刻/灰分程序。综上所述，TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先进的、功能齐全的蚀刻器/asher，提供精确高效的蚀刻/ashing功能。该机具有集成的静电卡盘支持、先进的工艺控制能力、高精度的等离子体源和可靠的蚀刻/灰化工艺,是实现卓越蚀刻和灰分效果的理想选择。