二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9052719 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款高度先进且可靠的蚀刻器/asher，旨在创造出先进的晶圆处理应用。这种设备能够在各种基材上精确蚀刻高质量的图样。它专为支持SOI、MOSFET和BiCMOS技术等半导体应用而设计。TEL TE 8500配备了先进的计算机控制系统，能够从一个大的4英寸晶圆精密蚀刻到一个小的8英寸晶圆。利用先进的跨场成像，该装置能够产生高度精确的蚀刻图样，深度精度极佳。蚀刻机构采用氦基技术，使高蚀刻速率的厚度变化最小。除了氦蚀刻能力外，TOKYO ELECTRON TE 8500还设有先进的干蚀刻室。这个腔室能够蚀刻复杂的图样，并提供了广泛的蚀刻气体选择，如氙气、氯气、溴气和氟气。该蚀刻机构还配备了一个特殊的石英蚀刻室，非常适合在具有挑战性的基板上创建高分辨率图样。此外,TE 8500还有一个板载配方编辑器,使用户能够创建自定义蚀刻配方。此功能对于创建复杂的蚀刻作业和自定义蚀刻过程以满足特定项目要求特别有用。最后,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500提供了先进的安全和环境特性。这台机器有多个内置的安全联锁装置，可以保护用户、控制工具和晶片免受可能的伤害。资产还包括一个集成的空气洗涤器模型，该模型消除了有害蚀刻过程，使有害颗粒释放到工作场所。总之，TEL TE 8500是一种非常先进和可靠的蚀刻器/asher。该设备具有先进的蚀刻技术、多种蚀刻技术以及特殊的安全和环境特性,提供卓越的精密蚀刻能力。
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