二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9059245 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款为大型半导体制造工艺而设计的先进蚀刻/asher设备。它能够在晶圆和单个模具尺寸上蚀刻或粉刷样品，具有很高的吞吐量和准确性。该系统集成了先进的基板支架设计以及高效的腔室加热单元，允许在整个蚀刻过程中进行精确的温度控制。该机器支持各种蚀刻化学以及专门设计的等离子体，以改进表面活化和清洁。TEL TE 8500配有高分辨率、激光干涉法为基础的晶圆剖面分析工具，允许纳米尺度的图样控制。它的主室允许在高达200毫米的晶圆上具有极好的蚀刻均匀性，具有最小的晶圆平坦度和颗粒缺陷。该工具的晶片的自动化供应，加上清洁的下降设置和先进的排气系统，防止污染蚀刻产品。TOKYO ELECTRON TE 8500还提供对蚀刻过程的精确监控，具有飞行时间质谱和离子通量计等综合过程控制功能。它是一种真正通用的蚀刻资产,为原型制造和生产制造提供支持。