二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9068919 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款为高精度材料去除而设计的蚀刻器/asher。用于去除基板上的薄膜，包括金属、氧化物、氮化物和III-V材料，精度和精度都很高。这是通过其超精密加工能力实现的，其工艺控制基于一个了解晶片级运动和蚀刻元件的闭环设备。TEL TE 8500还具有处理各种材料的功能,每种材料类型都有多种蚀刻配方。它还配备了一个空气淋浴，用于减少来自系统外部的污染水平。TOKYO ELECTRON TE 8500包含全自动供应、载荷和卸载能力。利用这一高度先进的功能，该单元将优化装卸，而无需操作员参与。该蚀刻器/灰化器采用双源质量流控制器，可控制精细和粗糙控制的蚀刻过程。这提供了卓越的精确度和长期的稳定性与最小的维护。该机器还包括一个高级配方管理器，它有助于配方控制和数据管理。此外，TE 8500提供了一个灵活的真空工具与先进的互锁网络和喷嘴真空资产。这允许根据所使用的蚀刻过程调整压力和流量。联锁网络设计有一个安全模型，当发生任何意外事件时将关闭机器。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款高精度、高效率的蚀刻器/asher,具有许多功能,使设备能够处理多种蚀刻过程。该系统配备了所有必要的安全系统，并具有先进的自动化能力，使其非常适合生产应用。该装置耐用可靠，是精密蚀刻工艺的理想选择。