二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9144928 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先进的蚀刻器/asher设备,利用等离子体和化学蚀刻工艺从半导体晶片表面蚀刻和去除材料,以创造极小的结构,细节极为精细。该系统旨在实现对晶圆表面质量影响最小、操作效率最高的高精度蚀刻工艺。TEL TE 8500由单源可变质量反应物(VMR)单元提供动力,该单元使用多种气体组合物在晶圆上蚀刻不同的材料。它可以在高温和低温下运行,允许敏感材料和薄基板的蚀刻,以及处理具有大通量的宽幅晶片。这台机器还配备了先进的基板安装技术,以确保完美的对准和精确的蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TE 8500配备了潜在的传感器,可以准确、连续地测量工艺参数,而晶圆重定向工具则将晶圆保持在所需的精确位置,以确保精确的蚀刻处理。该资产还配备了先进的集成反应室,用于高速蚀刻工艺,污染水平最低,可重复性最大。TE 8500由功能强大的PLC控制,提供完整的流程自动化。它还有一个集成的工具管理软件模块来检测模型的任何可能的故障。为确保工艺的最大效率,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500配备了先进的高级数据处理模块。总体而言,TEL TE 8500是一款最先进的蚀刻器/asher设备,可在最小的结构中提供精确的蚀刻工艺,并以最快的速度提供最佳的表面质量。它确保了最高的工作效率和可靠性,使其成为任何半导体制造生产线的完美解决方桉。
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