二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9192932 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款最先进的等离子体蚀刻设备，旨在为晶圆级生产提供精确准确的蚀刻结果。这种等离子体蚀刻器具有多个腔室，先进的过程控制和自动化界面，便于设置和远程控制，以及固体环式电动机驱动晶片级。该系统为过程控制提供了极好的灵活性,支持单晶片和多晶片处理。该模型具有线性和径向蚀刻单元，带有4面氮化硼涂层腔室，提供卓越的导热性能和均匀性。电动晶片级可同时对多达14个晶片进行均匀蚀刻。实时监测和分析了气体流量和卡盘功率等可控工艺参数，以确保精确的蚀刻环境和最佳的蚀刻效果。该机还可以配备特殊功能，如可调节蚀刻速率和最大宽度检测。TEL TE 8500为用户提供了多种蚀刻选项,包括湿、干、烷基、自由基、氟、氯和硼。压力、温度、物种浓度、气体流速和蚀刻速率等过程紧急情况可以调整，以达到最佳蚀刻效果。该工具还利用温度控制的基板卡盘来防止晶片过热。配备了最新的工艺控制和监控功能，TOKYO ELECTRON TE 8500提供了最大的蚀刻精度和重复性。手动流程设置可以存储和召回,从而简化设置过程。此外，该资产的设计符合最新的行业法规和安全准则。TE 8500是晶圆级生产的强大等离子蚀刻工具。其先进的特点保证了出色的蚀刻效果、均匀性和精确的工艺控制。具有温度控制、种类浓度、气体流速和晶圆级运动控制等最先进的特点，是大容量、面向生产应用的理想蚀刻解决方桉。