二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9195649 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是为最苛刻的应用而设计的全自动、高通量蚀刻/asher设备。提供精确的过程控制和快速响应,蚀刻器/asher可满足要求最苛刻的客户的严格需求。TEL TE 8500是由一个具有三个温度区、一个隔离阀、一个排气口和一个三级热滤清器的腔体构成的,以确保安全和符合环境要求。该腔室由不锈钢加工而成，具有大的正面开口，允许样品的最大吞吐量。双工泵在控制氯离子和氟离子的同时提供工艺灵敏度。该腔室装有静电卡盘，能够处理各种基板。TOKYO ELECTRON TE 8500具有触摸屏界面,可用于可编程配方和数据存储。该系统支持效率最高、精度最高的可重复蚀刻操作。有几种标准操作模式,包括手动、专家蚀刻和多蚀刻,每种模式都提供不同级别的控制。例如，Multi-Etch模式可以提供对蚀刻参数的独立控制，可以用蚀刻时间、温度和气体成分的变化来编程。TE 8500配备了多种可选配件，如上下温传感器、臭氧洗涤器、离子清洁室、远程监控单元等。此外，蚀刻室还具有一个双窗格视图端口，可以观察蚀刻或灰化过程的内部。该视图端口还支持波长色散X射线光谱的在线和离线分析。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 蚀刻器/asher设计用于在多种应用中提供可靠、可重现的成果，包括薄膜稀释剂和涂层的生产、晶圆和半导体制造以及光刻。机器提供了对蚀刻和灰化参数的精确控制，允许重复的结果，很少或没有维护。