二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9204238 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款为半导体制造应用而设计的蚀刻器/asher。TEL TE 8500是一款先进的蚀刻/灰烬设备,提供卓越的性能和可靠性。它既可用于高精度应用,也可用于高生产率应用。该系统能够达到良好的均匀性、速度和准确性水平。该机组配备了ae 13 nm高分辨率氙离子束源，提供精确的蚀刻和灰分工艺。该源具有广泛的能谱范围，对工艺参数提供了良好的控制。该机还包括高压化学气相沉积（HPCVD）和反应性离子蚀刻（RIE）能力。这样可以在不牺牲吞吐量的情况下精确控制蚀刻/灰分过程。TOKYO ELECTRON TE 8500还提供了灵活的硬件配置。该工具最多可配置两个蚀刻/灰化室、过程控制单元和监视器。这允许用户根据特定的生产需求轻松定制资产。该型号还包括用于设备与用户处理线路之间通信的高速I/O协议。在过程控制方面，系统提供了蚀刻/灰分配置文件、众多过程步骤、多过程配方和警报等功能。该单元还提供自动晶圆对准和基板跟踪。此外,该机器还支持通过集成的Web浏览器进行远程进程监视。在安全方面，该工具符合CE、ESD、健康安全法规等多项行业安全标准。通过准确的诊断和直接的模型控制,资产也易于使用和维护。总体而言,TE 8500 蚀刻器/asher是一款可靠高效的设备,具有高性能和高精度。它用于半导体制造应用,提供精确的蚀刻/灰化、带有警报的自动化过程控制、晶圆对准和跟踪功能以及主动安全措施。该系统高度可定制,易于使用,是许多工业设施的理想解决方桉。