二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9290495 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款Etcher/Asher，专为先进的蚀刻和灰化工艺而设计。此设备对于IC制造过程（例如设备制造或维护高质量产品）至关重要。该系统具有广泛的特点和能力，以确保半导体晶圆的精确和精确的蚀刻和灰化。该装置有高温精密石英管和先进的磁镜机（MMS），以确保精密晶圆处理。该工具利用先进的石英管设计和高质量的MMS光学器件，提供快速、可重复的蚀刻。该资产还可以处理范围广泛的晶圆尺寸（76.2mm至300 mm）。这是实现过程灵活性和高吞吐量的理想选择。此外,该型号还配备了LED发射监视器,可连续监控过程以确保精确蚀刻。此显示器可提供高达40%的流程控制。它还具有精密的背面晶片温度控制设备和低温传感器，这是设备晶片高质量处理所必需的。该系统与控制面板和用户友好的图形用户界面集成在一起，便于操作。此面板提供了一种简单直观的方式来控制和监视设备操作。此外，还有提供任何进程问题预警的先进警报系统。此外，该机拥有一项获得专利的原位清洗技术，非常适合使用无HMDS材料和应用。该工具还配备了先进的回流管理功能，以确保均匀的晶圆温度，从而提高质量。最后,TEL TE 8500是IC制造过程中必不可少的蚀刻器/粉碎器.该资产具备高温精密石英管、先进磁镜模型（MMS）、LED发射监测器、精密背面晶圆温度控制设备、人性化控制面板、专利原位清洗技术等多种功能。所有这些特性使得该系统成为蚀刻和灰化工艺的绝佳选择。