二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9384750 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一种用于蚀刻材料的装置。它是光刻工艺的理想蚀刻器，旨在提供卓越的工艺均匀性、精确的精细分辨率和快速的吞吐量。此蚀刻器采用强大的技术构建,旨在确保准确、可重复的过程。它配备了最新的计算机化监测和控制系统，在整个过程中提供业绩反馈。这种装置由于具有两个独立的质量流控制器、精确的慢流蚀刻技术以及先进的腔室设计，提供了卓越的性能。这些功能结合强大而直观的软件，提供了对蚀刻工艺的卓越控制。TEL TE 8500专为与大多数光刻系统实现最大的兼容性和集成而设计,因此可以轻松升级现有系统。此外，蚀刻器与被动涂层和主动涂层兼容，使涂层和基板之间具有良好的附着力。腔室设计提供了恒定的蚀刻速率，使晶圆吞吐量提高了15%之多。该室还具有一个循环系统，这有助于保持一个均匀的温度和一致的蚀刻速率。该蚀刻器的设计符合业界最高的可靠性和安全标准。这包括增强的安全功能,例如自动关闭系统,该系统使用复杂的传感器来检测压力、温度或其他条件的变化。TOKYO ELECTRON TE 8500还配备了全面的诊断和监控功能。这包括板载、图形诊断面板和实时趋势监控。此外，TE 8500提供了一个经济实惠的解决方桉，拥有一个减少用水量的先进湿站。该设备还构建了一个用户友好的界面，由于其直观的控制，可以很容易地操作和理解。所有这些特性使TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500成为任何光刻工艺的理想蚀刻器。