二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9394809 待售
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ID: 9394809
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Oxide etcher, 8"
Chuck type: ESC
RF Generator
ENT Shuttle
Aligner
ISO Module
Cable harness
No chillers
(2) Indexers:
881-621550-3 Control board
UDX5107 5-Phase driver
Handler arm:
BC10CA52CACDN AC Servo motor: 3000 rpm, 10 W
881-621560-2 Int conn board
893-020880-2 Control board
Prealignment:
(2) VEXTA PX244M-01A-C4 Stepping motors, 4 V, 1.2 A
808-621570-2 PA Control board
Load lock:
FGL11-X7 CKD Leak valve: 12 V, 8 W, 3.5-5 kg/cm²
Orifice: 2.2
(2) External motor driver: DBAP10CA52CS536 AC Servo driver
(2) Rotor motor driver: DBCP10CA52CDB AC Servo driver
(2) Load lock motor: BC10CA52CACDN AC Servo driver
(2) Board: 1881-022047-11 Vacuum control board
(3) C-2-FA-50-60-R3 Load lock cylinders
C-2-50-60-R Load lock cylinder
VAC Card rack:
Manostar switch: MS61L Differnetial pressure switch, 2-22 mmHg
E5AX-AH01 Temperature controller: 100-240 VAC, 15 VA, 50/60 Hz
808-62150-1 Gas I/F Board
Gas boxes:
Valve / Model / Gas / Flow rate
Pressure switch / FC-980C / - / -
MFC / FC-980C / N2 / 2 SLM
MFC / FC-980C / O2 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / HE / 1 SLM
MFC / FC-980C / AR / 2 SLM
MFC / FC-980C / CF4 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / CHF3 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / HE / 20 SCCM
Regulator / SQ140-50-3P / - / -
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一种蚀刻器（或asher），用于硅製造过程中，有选择地从基板上移除材料。这是通过使底物暴露于反应性等离子体或经过改造以改变材料表面特性的化合物中来实现的。TEL TE 8500能够使用多种蚀刻技术执行标准蚀刻应用,包括等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）以及两者的组合。TOKYO ELECTRON TE 8500先进的晶圆对准设备提供了跨多个基板的出色模式维护，其工艺控制器实现了下游工艺优化。TE 8500有多个根据流程需要使用的吊舱。每个吊舱包含多个电子回旋共振（ECR）蚀刻源，产生所需的等离子体。腔室可以配置不同的ECR源和操作参数，从而为用户提供广泛的工艺选项。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500还具有多个反应性离子蚀刻（RIE）的来源。RIE源使用户能够根据应用程序的确切需求定制蚀刻,从而提高了蚀刻选择性和可控性,并提高了出色的吞吐量。TEL TE 8500具有内置的流程监控系统,可帮助用户测量和分析蚀刻处理。该单元允许实时流程优化，其中流程变量可以快速、精确地进行调整，以最大限度地提高产量和吞吐量。TOKYO ELECTRON TE 8500还有一台数字视频监视机，在蚀刻过程中提供了无与伦比的精度和可重复性。视频监视器确保所有批次的晶片都经历了相同的蚀刻条件，消除了批次间的可变性，提高了结果的可重复性。TE 8500是一种有效、准确的半导体蚀刻应用解决方桉。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500结合了先进的自动化和适应性强的工艺参数，是硅制造工艺的宝贵工具。
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