二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9402436 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是为半导体器件生产而设计的高性能蚀刻器/asher。此工具可在高速和低成本下提供非常精确的结果。TEL TE 8500集成了多种工艺流程,具有精细或纯蚀刻功能,可实现高达0.25 μ m的小图桉的高精度蚀刻。TOKYO ELECTRON TE 8500还具有强大的薄膜沉积能力，允许使用由氢（H2）或氟（F2）产生的低压等离子体进行薄膜沉积过程。该系统还包含一个先进的用户友好图形控制界面，允许方便的程序设置和有效的配方控制。机器可以与其他制造设备集成，以确保数据交换和工艺流程优化。TE 8500配备了两个工艺室、两个负载锁、一个供气箱和一个等离子源。使用适当的方法生成高密度等离子体。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500有一个特别的设计来优化工艺性能，具有较低的蚀刻材料消耗，以及减少蚀刻工艺对环境的影响。加工室内温度被动稳定，创新阳极氧化控制系统（ACS）保持环境纯度。ACS还可以防止阳极氧化反应受到环境条件变化的影响。TEL TE 8500配备了多种传感器，用于监控等离子体功率、温度、腔室清洁度等原位工艺参数。监视器允许操作员及时调整，以确保取得最佳效果。此外，其先进的控制系统使配方设置更加容易，并确保了对蚀刻过程的有效控制。TOKYO ELECTRON TE 8500对于需要高效蚀刻溶液的人来说是绝佳的选择。其精度、速度、低成本、高效的工艺控制，使其成为半导体器件制造的理想选择。
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