二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC #9148203 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC是用于半导体晶片蚀刻和灰化工艺的先进加工工具。其先进的技术允许更好的吞吐量、出色的均匀性、更高的精度、严格的可重复性和最小的产品污染。机器的模块化设计允许广泛的配置和应用。TEL TE 8500P ATC的加工室可分为蚀刻、灰化和锁载三个截然不同的部分。蚀刻阶段使用工艺气体从晶圆表面去除金属或电介质。Ashing following retching and use a obledge-their process gas to remove organic striues, as photoresit, from the wafer surface.最后一节是锁载室，用于将晶片引入系统，并为过程中的发生提供真空环境。TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC的主要部件包括一个主动静电卡盘、源/淋浴头和气体组合单元。静电卡盘在加工过程中保持晶片,通过提供热控制来保持温度稳定性,从而在整个蚀刻和灰化过程中保持温度稳定性。源/淋浴头用于生成过程等离子体，由射频配电板、感应离子源和淋浴头组件组成。气体组合单元溷合加工气体，并将其输送到等离子体室中。它还监视腔室和其负载锁之间的压差，以维持所需的真空水平。TE 8500P ATC配备了全面的过程控制软件。其系统智能利用自动驾驶模式不断优化蚀刻和灰化工艺。此外，它的板载电脑可以储存各种食谱，允许各种条件和流量只需触摸按钮即可使用。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC是一款先进、先进的蚀刻和灰化工作站，为半导体行业带来高水平的吞吐量和精度。由于它的模块化设计和复杂的软件，它可以提供卓越的工艺一致性和可重复性，以及最小的污染。其先进的技术允许精确控制临界蚀刻和灰化参数，使其成为高端半导体应用的绝佳工具。