二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293585750 待售
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ID: 293585750
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Dry etcher, 8"
Process: Oxidized film dry
Non-SMIF Type
AC Rack
EBARA A30W Dry pump
Pump control rack
AERA FC-720AC MFC
Gas: CHF3, CF4, O2, Ar, O2, CO
Back pressure: He
Treatment chamber: (3) Gases
Chiller
Power cable
Chiller cable
Power supply: AC 200V, 50/60 Hz, 3-Phase.
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一种高度先进的蚀刻/asher设备,其设计旨在满足一系列关键微加工应用的需求。该系统配备了功能齐全的过程控制以及各种复杂的硬件和软件选项。可以定制设备以满足特定的客户要求。TEL TE 8500 P是一种完全集成的设备,专为高蚀刻速率、严格的过程控制以及对包括蚀刻、灰化和剥离应用在内的各种过程步骤的高效处理而设计。这台机器有各种各样的可自定义的选项,允许用户根据自己的特定需求进行定制。TOKYO ELECTRON TE-8500 P配备了强大的高速微加工工具。资产能够在单个过程步骤中执行最复杂的蚀刻、灰化和剥离操作。该模型配备了两个独立、功能齐全的成像仪通道,提供高分辨率、实时成像和微机加工特征成像分析。TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P还具有交互式图形用户界面,允许用户访问和控制具有直观和强大功能的设备。该系统具有自动化配方存储、工艺参数优化、基于实时流程反馈的配方调整等多种工艺控制功能。TEL TE 8500 P的硬件设计为适合精确微机械加工。该单元由多个组件组成,包括主机、操作控制台和电源,每个组件都是为实现最高性能和可靠性而设计的。还包括高速冷却,以提高操作的安全性和准确性。最后,TE-8500 P提供了一套广泛的软件、服务和制造商提供的支持。这使得客户可以轻松地利用高级机器功能,包括新的开发和工程服务,并通过刀具的操作获得个性化的帮助,从而使用户能够最大限度地利用其微加工活动的结果。
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