二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608635 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是为一系列微加工工艺而设计的高精度蚀刻器/asher。它提供了精确度、可重复性和可靠性的完美组合。TEL TE 8500 P具有四个独立的运动轴。X和Y轴的分辨率均为5微米，允许精确放置基板表面。X轴还具有将基板从一个位置快速传输到另一个位置的简短移动功能。Z轴的范围为0.1mm-17.5mm。W轴具有± 45°的范围，允许精确操纵基板定位。TOKYO ELECTRON TE-8500 P还提供多种工艺控制选项，如氧气流和气流。这使用户能够根据自己的特定要求自定义其蚀刻和灰化过程。独立的离子源不需要在整个过程中重复手动调整,从而确保准确一致的蚀刻/灰化结果。为确保操作和维护方便,TEL TE 8500P包括触摸屏显示器和可选的PC操作。显示器具有简单的图形用户界面,可轻松监控和操作系统。PC操作允许用户存储和召回配方,简化流程以实现可重复性,并运行统计流程控制测量。TEL TE-8500 P还提供卓越的安全标准,包括紧急停止按钮、针对蚀刻/灰度压力的自动调整以及对所有电机驱动器的过压保护。无声、无振动的操作也为用户提供了最大的舒适度。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P是一种用途广泛且可靠的蚀刻器/asher，设计用于适应各种微加工工艺。它有四个独立的运动轴、各种过程控制选项和直观的触摸屏监视器,可确保准确性、可重复性和可靠性。此外,它的安全特性与静音操作相结合,使其成为任何应用程序的安全和舒适的选择。