二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608637 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一款设计用于半导体行业的超高分辨率蚀刻器/asher。它是一种高度通用的设备，可用于处理光掩模、集成电路（IC）光刻、薄膜沉积等多种应用。TEL TE 8500 P具有较大的腔室尺寸,能够同时处理具有高度均匀性的多个基板,同时为设备层和其他功能提供高性能解决方桉。它的数字控制系统确保精确的对准和精确的图样，而先进的沉积技术使各种化学品得以使用。TOKYO ELECTRON TE-8500 P具有先进的真空系统，具有较高的沉积精度和可重复性以及优异的均匀性。对蚀刻器的干蚀刻速率（EDR）和均匀性（UN）可测量参数进行控制，以实现极小介电损伤的超高分辨率。蚀刻器的控制器提供直观的软件，方便设置和操作，允许微调与特定应用的一系列参数。此外，TE 8500P包括一个先进和复杂的模式识别系统，使基板和模式在方位和径向精确对齐。蚀刻器的大腔室尺寸还可以使金属、绝缘体或半导体的多层同时沉积和阵列化。这样可以缩短处理时间,并确保相同的薄膜厚度、晶粒方向和设备特性在所有层中都是一致的。此外，TE-8500 P可以与包括氟化载体（FACs）在内的各种气体一起使用，并且能够实现高精度沉积，同时具有较低的蚀刻速率和均匀性。蚀刻器还能够为高速流程提供更高的生产率,并且能够每小时处理多达100万个模式功能,从而确保产品的最佳产量和低成本。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 P是一款高度先进的蚀刻器/asher，提供无与伦比的精度、精度和定位控制。它为各种半导体和器件制造过程提供了一个通用的平台，使其成为广泛研究和商业应用不可或缺的工具。