二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293637539 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P
ID: 293637539
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Dry etcher, 6" 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是用于生产高精度元件的3轴等离子体蚀刻器。该装置配备了1500毫米x 500毫米x 800毫米长的腔室,使其适合广泛的应用。它具有-170°C的最高基板温度,可从-30°C调节到+90°C,允许调整以适应各种材料和条件。TEL TE 8500 P配备了独一无二的用于精密零件加工的6轴机器人手臂,在处理精细零件和材料时拥有无与伦比的速度和精度。此外,该设备还能够同时执行蚀刻和沉积功能,提供经济高效的解决方桉,并确保快速、准确地完成这两个过程。TOKYO ELECTRON TE-8500 P在处理过程中提供了高度的精确度,这要归功于它的3轴运动技术,它利用集成的线性插值来确保最高精度和可重复性。而且大腔室尺寸和双频功率控制系统占了快速的设置和工具的变化。此外,大腔室尺寸还允许在不需要单独设备的情况下完成电镀、涂层或其他整理工艺。由于TEL TE 8500P的灵活性和精确度,它是制造需要严格公差的元件(如光学和医疗应用中用)的理想蚀刻器。其高度可调的温度范围也允许用多种不同的材料完成工序。此外,TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P还为研发目的提供了紧凑而强大的解决方桉。总而言之,TE 8500P是一种可靠且用途极为广泛的蚀刻器,可用于多种应用,是需要精确的制造工艺的理想选择。
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