二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643484 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P 蚀刻器/asher是一种最先进的半导体器件处理设备，在单个平台中结合了蚀刻、灰化和清洁功能。其先进的特性使其非常适合半导体器件制造。机器可以直接从PC操作，允许用户以最短的设置时间快速创建和操作作业。其先进的过程控制算法有助于保持稳定、高质量的过程，并使其更容易在蚀刻和灰化过程之间切换。蚀刻器/asher具有多种工艺选项,包括湿蚀刻和干蚀刻,以及灰化和清洁功能。该系统还具有高速数字伺服控制单元，使用户能够微调蚀刻和灰化参数。该机还支持多种数字控制选项，如坡道控制器、PID控制器等工艺优化算法，以确保最优工艺性能。TEL TE 8500 P的高级安全功能包括泄漏检测工具（LDS）和职业暴露极限（OEL）对过程产生的污染物的监控资产。LDS能够检测痕量的气体、蒸气和氧化物颗粒，OEL监测模型不断监测空气中的颗粒、金属蒸气、氧化物等，以确保安全运行水平。设备还包括多个监控系统，用户可以密切监控流程性能，包括存储所有数据点和事件的高级事件记录系统、温度控制单元 提供温度和压力实时读数的（TCS）和气流机 （GFS），可用于分析气压、流量等数据点。此外,该工具还具有一个自动压力控制资产（APC）,它使用户能够设置一定的操作压力,并将根据流程条件自动进行调整。TOKYO ELECTRON TE-8500 P还通过车载数字化废水处理模式和各种废物管理方桉提供环境保护。设备可以帮助降低用户的能耗，降低他们的粉尘和颗粒水平，并提供环保的蚀刻和灰化解决方桉。TE 8500 P是当今最先进的半导体器件制造工艺市场上最可靠的蚀刻器/asher。它具有完整的过程控制和监控选项,确保安全、可靠和高效的操作。