二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643485 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一种先进的蚀刻器，用于半导体制造工艺。多用途蚀刻器具有多种功能,如多个蚀刻过程、200mm/min的高吞吐量能力和可选的均匀性控制。该8500P通过实时监控温度、压力和蚀刻速率提供了出色的工艺控制,从而实现了精确的蚀刻轮廓。该蚀刻器利用了多种蚀刻化学物质，包括氯、碘和其他蚀刻材料，可配置用于干蚀刻、湿蚀刻和湿/干蚀刻工艺的组合。由于蚀刻器可配置多个蚀刻过程,因此该8500P非常适合各种应用程序。它允许在各种基板上进行卓越的爆破蚀刻，实现卓越的特性清洁度和临界长宽比控制。此外，蚀刻器的高吞吐量能力、过程监控和可选的均匀性控制也使其在超高精度蚀刻任务中表现出色。TEL TE 8500 P蚀刻器还兼容真空过程控制和回收系统TEL FlexPump。这样可以在蚀刻过程中实现更高程度的过程控制和效率。TOKYO ELECTRON TE-8500 P蚀刻器的通用性和可靠性使其成为各种蚀刻应用的理想选择。其多重蚀刻工艺、高吞吐量能力、可选的均匀性控制和工艺监控相结合,实现了卓越的精密蚀刻作业,特别是对于高长宽比特性而言。它与TOKYO ELECTRON FlexPump的兼容性允许高度的过程控制和效率。而其出色的工艺控制也使得它成为各种蚀刻应用的可靠且经济实惠的选择。