二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293668446 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293668446
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Dry etcher, 6"
Process: Etch oxide
Main body
Load lock
Facilities connections
Dry pump
Gas panel
Chamber
Endpoint monitor
Power supply: 208VAC, 50 / 60 Hz
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P 蚀刻器/asher是用于制造集成电路、微电子产品和平板显示器的最先进的光刻设备。它利用二氧化碳（CO2）激光器作为主要能源，在硅片中制造微结构。CO2激光束产生迅速准确，脉冲宽度小于一纳秒，流畅度高达1.8 J/cm2。激光光束可以根据大小、形状和强度进行调整，以产生所需的微观结构。激光光束通过使用两个集成的检流计镜和两个变焦镜头进行高精度的定向和控制。TEL TE 8500 P 蚀刻器/asher还具有复杂的模式识别系统。该单元利用一种算法来识别入射图像中的模式并相应地调整激光束。这样可以确保在晶片中精确地再现目标模式。TOKYO ELECTRON TE-8500 P为用户提供了广泛的过程，从干蚀刻到化学气相沉积。它可以与多种基板一起使用，包括硅、蓝宝石和的。它还提供了一系列经过优化的材料工艺，如湿蚀刻、干蚀刻、快速热退火和单片提升。此外,该机器还能够确定每个特定过程的最佳级别范围和控制参数。这样可以确保产量最大化和保持,同时实现误差和缺陷的最小化。TOKYO ELECTRON TE 8500 P也与众多的机器人系统兼容，允许厂商使用自动化进行生产。蚀刻器/asher配备了广泛的维护和故障监控系统，使其能够连续运行并获得高度成功。TE 8500P是一种先进的蚀刻器/粉碎器工具，它利用强大的CO2激光器在基板上创建精确的微结构。它具有复杂的模式识别和最佳的控制参数，非常适合制造小型复杂组件。它还与许多机器人系统兼容，允许自动化生产。此外，其众多的故障监控系统确保了可靠、连续的运行。
还没有评论