二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293757419 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一种蚀刻器/asher，用于制备样品用于半导体材料的检验和分析。这个单元结合了两种技术--等离子体蚀刻和化学蚀刻--在各种各样的材料上实现精确、可重复的结果。其等离子体蚀刻技术利用高频无线电源产生带电离子的等离子体场，从而实现一致的蚀刻过程和最小程度地暴露于不受控制的环境条件下。等离子体蚀刻工艺是可调的，以实现蚀刻速率控制，并允许最多五种可选的工艺气体，允许用户获得各种材料、型材和工艺的理想蚀刻配置。TEL TE 8500 P还结合了化学蚀刻技术，具有更高的选择性和更精确的蚀刻止动。该系统旨在控制样品表面上遮罩图桉的均匀性，并有选择地蚀刻所需的区域。它还提供了可变工艺条件的灵活性，包括蚀刻时间、沐浴温度、pH、电阻率和冲洗水平。化学蚀刻工艺能够获得对p型和n型模具等材料的高选择性，以及精确的蚀刻止动。TOKYO ELECTRON TE-8500 P是一个高效的，用户友好的系统，允许精确蚀刻分析与最小的操作员输入。它采用LCD触摸屏选择的高级用户界面,允许用户访问各种工具,以便轻松设置和维护一致结果所需的精确蚀刻条件。TE-8500 P配备了精确的传感器，用于监测腔室和晶圆温度、气流和离子电流，以确保一致的蚀刻过程。对各种工艺参数进行了控制和监控，如蚀刻速率、腔室压力、温度和施加功率，从而实现了蚀刻工艺的全面优化。总之，TE 8500 P是一种强大的蚀刻器/asher，它提供了以精确、可重复的蚀刻速率蚀刻各种材料的灵活性。其先进的界面、精确的传感器和可定制的蚀刻工艺参数为任何应用提供了最佳的蚀刻结果。TE 8500P是一个可靠和用户友好的解决方桉，蚀刻和制备半导体材料进行检验和分析。
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